Nordson DAGE 4800采用晶圓測試技術(shù)，可用于測試200毫米至450毫米的晶圓。

將成熟的技術(shù)與新的Paragon自動化軟件相結(jié)合，可提供準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和結(jié)果穩(wěn)定性。

Nordson Dage 4800在市場上同類產(chǎn)品中是與眾不同的。

優(yōu)良的品質(zhì)

準(zhǔn)確性和可重復(fù)性確保您對測試結(jié)果的質(zhì)量充滿信心。

退后精度

剪切高度的控制（復(fù)位）對剪切應(yīng)用中一致性的測試結(jié)果至關(guān)重要。Nordson DAGE獨(dú)有的專利復(fù)位系統(tǒng)有助于設(shè)置和控制剪切高度，從而使復(fù)位精度達(dá)到+/-0.25微米。

成像

一系列功能強(qiáng)大的攝像頭和光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化加載工具對準(zhǔn)、自動編程和測試分析。

垃圾清理站

快速地從推刀及夾爪中自動清除殘?jiān)?/span>

雙顯微鏡裝置

4800焊接強(qiáng)度測試儀的光學(xué)器件與顯微鏡的雙減振裝置和可調(diào)試視窗相結(jié)合，可提供圖像穩(wěn)定性

小尺寸準(zhǔn)確定位 

矢量微調(diào)控制，提供具有可編程的微動按鈕的小鍵盤操作，準(zhǔn)確的步進(jìn)移動，以確保最終的位置

自動化測試

完全自動化的測試程序可以配置使用直觀的晶圓映射模塊在選定的或隨機(jī)的模具上運(yùn)行一組測試。協(xié)助用戶從加載到結(jié)果，包括：攝像頭的對位，失效模式判定和圖形數(shù)據(jù)展示

全自動晶圓測試技術(shù)

自動焊接強(qiáng)度測試系統(tǒng)

自動軟件

Nordson DAGA Paragon™測試軟件擁有很大的可配置性和直觀的界面以及各種功能，例如自動GR&R計(jì)算、內(nèi)置診斷、一系列圖表和數(shù)據(jù)庫搜索引擎向?qū)?。利用機(jī)載成像系統(tǒng)可以通過基準(zhǔn)點(diǎn)匹配進(jìn)行自動對準(zhǔn)。

Paragon™測試軟件為創(chuàng)建晶圓圖提供靈活性，允許快速地設(shè)置測試模式；可以輕松編輯每種測試模式的虛擬圖像。您可以從以下方法中進(jìn)行選擇：

1、使用即在智能自動晶圓繪圖軟件來掃描晶圓

2、以工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)格式導(dǎo)入晶圓圖

3、使用鼠標(biāo)簡單的點(diǎn)擊向?qū)頌榫A上仍和位置的任何測試點(diǎn)編寫程序

多功能測試模組

業(yè)內(nèi)多功能測試模組擴(kuò)展了4800焊接強(qiáng)度測試儀的通用性。

操作員可以通過測試模塊窗口來輕松識別哪個(gè)傳感器處于活動狀態(tài)，而“暫存位置”會保護(hù)測試模塊里面的傳感器。

4000和4000Plus焊接強(qiáng)度測試儀上使用的現(xiàn)有測試模組也與4800系統(tǒng)相兼容。

亮點(diǎn)：

1、人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，抓取手柄輕便，可安全無虞的移動

2、可快速輕松地與單功能測試模組交換

3、獲得專利的空氣軸承技術(shù)用于剪切力測試

4、“暫存位置”保護(hù)測試模塊里面的傳感器

5、傳感器應(yīng)用窗口

強(qiáng)大的光學(xué)系統(tǒng)

4800系統(tǒng)提供了一系列的光學(xué)解決方案：

圖像采集系統(tǒng)

為失效模式分析提供高分辨率圖像。內(nèi)置于系統(tǒng)中，靠近測試頭的位置可最大限度的提高產(chǎn)量，尤其適用于自動化測試。

校準(zhǔn)攝像頭

內(nèi)置配有微距變焦鏡頭和通州照明的高分辨率攝像頭。當(dāng)與圖像采集系統(tǒng)配合使用時(shí)，自動化模板和程序的設(shè)置和使用得到顯著增強(qiáng)。

集成的圖像采集和對位攝像頭

三目攝像頭

借助合適的顯微鏡，可以從遠(yuǎn)到近調(diào)整視場，非常適合微觀定位。與側(cè)面對位攝像頭結(jié)合使用時(shí)，兩個(gè)視圖（前部和側(cè)面）有助于實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測試頭校準(zhǔn)。此外，可以使用高功率光學(xué)器件來觀察20微米以下的超微特征點(diǎn)，以輔助操作員進(jìn)行剪切力測試校準(zhǔn)。

集成校準(zhǔn)

側(cè)面對位攝像頭非常適合測試微特征。其支持輔助視點(diǎn)功能，可提供準(zhǔn)確、可重復(fù)的測試。側(cè)面對位攝像頭與測試模塊支架相連，可以提供超穩(wěn)定、無震動且持續(xù)聚焦測試位置的圖像。

孔徑儀成像系統(tǒng)

孔徑儀可提供高倍放大圖像，非常適合工具的準(zhǔn)確校準(zhǔn)。它也可以實(shí)現(xiàn)離線失效模式分析、測試分級和實(shí)時(shí)測試記錄。

成功測試翹曲晶圓和薄晶圓

智能邊緣升降托盤擁有設(shè)計(jì)，邊緣升降撐腳能確保彎曲晶圓不會從托盤上滑落。漸進(jìn)的真空壓力在晶圓上方形成較真空。

產(chǎn)品特點(diǎn)包括：

預(yù)先調(diào)準(zhǔn)準(zhǔn)確性

通過在邊緣處完全支撐晶圓來消除橫向移動。

這確保了每個(gè)應(yīng)用的晶圓放置。

內(nèi)置的十字線攝像頭對準(zhǔn)目標(biāo)

該對準(zhǔn)目標(biāo)可確保操作員100%確信負(fù)載工具相對于卡盤的位置。這種校準(zhǔn)大大提高了準(zhǔn)確性。

集成校準(zhǔn)

通過內(nèi)置的驗(yàn)證和測試模組校準(zhǔn)確保結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

智能和直觀的晶圓托盤控制器

多功能可編程控制器確保晶圓的安全和可靠的傳輸。將其無縫集成到Paragon軟件中，可以提供有關(guān)真空夾緊壓力的反饋，從而防止損壞晶圓。

更重要的是，操作者可以輕松看到真空和氣壓的連續(xù)反饋信息，因此可以采取措施防止在壓縮空氣供應(yīng)中斷的情況下?lián)p壞晶圓。

失效模式和分級

自動圖像采集系統(tǒng)定位正確的位置以優(yōu)化圖像質(zhì)量。擴(kuò)展的景深選項(xiàng)也會生成自動聚焦的圖像和失效的3D地圖。

典型失效模式

全自動晶圓測試技術(shù)

集成晶圓處理

Nordson DAGE4800與晶圓處理系統(tǒng)集成，可確保操作可靠性和可重復(fù)性。

集成晶圓處理系統(tǒng)將Nordson DAGE4800轉(zhuǎn)化為一個(gè)完全自動化的系統(tǒng)，其利用下一代Paragon™焊接強(qiáng)度測試軟件確?？煽啃院涂芍貜?fù)的操作。

高度直觀和可配置的界面為各種樣品配置提供了快速、簡便的自動化測試程序開發(fā)和執(zhí)行。

一步一步的向?qū)б龑?dǎo)用戶完成設(shè)置過程，滿足各種選擇需求。Paragon還提供了同事顯示記錄來自多臺攝像頭視圖的功能。

CHAD晶圓處理器

Nordson DAGE 4800 Integra是自動晶圓焊接強(qiáng)度測試的完整解決方案。整個(gè)系統(tǒng)由工廠配置并由一臺PC控制。

幾乎無需操作員介入測試

該系統(tǒng)完全由Paragon™軟件進(jìn)行控制，經(jīng)過編程后，無需操作員介入即可自動執(zhí)行測試的所有部分。

SECS/GEM集成

系統(tǒng)直接連接到網(wǎng)絡(luò)以允許SECS/GEM操作。當(dāng)與FOUP加載系統(tǒng)結(jié)合使用時(shí)，測試、分析和結(jié)果可以完全自動化。

無塵室兼容

可選風(fēng)扇過濾裝置和前門可加入離子去除裝置，以進(jìn)行無塵室操作。

自動晶圓矯正器

晶圓矯正器確保在測試之前可將翹曲的晶圓自動夾緊到真空吸盤上。

風(fēng)扇過濾器

4800 Integra可安裝風(fēng)扇過濾器和封閉門。這樣可以保持系統(tǒng)內(nèi)部的正壓力，并將碎屑排出測試區(qū)域。

互鎖選項(xiàng)

可以安裝光幕或互鎖門，以保護(hù)操作者免受測試區(qū)域的傷害。系統(tǒng)將在光幕或互鎖門被損壞或被打開時(shí)暫停當(dāng)前的測試，并在障礙物消除后重新啟動。

CCD攝像頭監(jiān)控

可選的CCD攝像頭可以安裝在晶圓處理機(jī)上，也可以安裝在4800 Integra內(nèi)部。允許對測試過程進(jìn)行監(jiān)視和記錄。

風(fēng)扇過濾裝置和封閉門

光幕或互鎖門

自動晶圓矯正器