Nordson DAGE 4800采用晶圓測(cè)試技術(shù)，可用于測(cè)試200毫米至450毫米的晶圓。

將成熟的技術(shù)與新的Paragon自動(dòng)化軟件相結(jié)合，可提供準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和結(jié)果穩(wěn)定性。

Nordson Dage 4800在市場(chǎng)上同類產(chǎn)品中是與眾不同的。

優(yōu)良的品質(zhì)

準(zhǔn)確性和可重復(fù)性確保您對(duì)測(cè)試結(jié)果的質(zhì)量充滿信心。

退后精度

剪切高度的控制（復(fù)位）對(duì)剪切應(yīng)用中一致性的測(cè)試結(jié)果至關(guān)重要。Nordson DAGE獨(dú)有的專利復(fù)位系統(tǒng)有助于設(shè)置和控制剪切高度，從而使復(fù)位精度達(dá)到+/-0.25微米。

成像

一系列功能強(qiáng)大的攝像頭和光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化加載工具對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)編程和測(cè)試分析。

垃圾清理站

快速地從推刀及夾爪中自動(dòng)清除殘?jiān)?/span>

雙顯微鏡裝置

4800焊接強(qiáng)度測(cè)試儀的光學(xué)器件與顯微鏡的雙減振裝置和可調(diào)試視窗相結(jié)合，可提供圖像穩(wěn)定性

小尺寸準(zhǔn)確定位 

矢量微調(diào)控制，提供具有可編程的微動(dòng)按鈕的小鍵盤操作，準(zhǔn)確的步進(jìn)移動(dòng)，以確保最終的位置

自動(dòng)化測(cè)試

完全自動(dòng)化的測(cè)試程序可以配置使用直觀的晶圓映射模塊在選定的或隨機(jī)的模具上運(yùn)行一組測(cè)試。協(xié)助用戶從加載到結(jié)果，包括：攝像頭的對(duì)位，失效模式判定和圖形數(shù)據(jù)展示

全自動(dòng)晶圓測(cè)試技術(shù)

自動(dòng)焊接強(qiáng)度測(cè)試系統(tǒng)

自動(dòng)軟件

Nordson DAGA Paragon™測(cè)試軟件擁有很大的可配置性和直觀的界面以及各種功能，例如自動(dòng)GR&R計(jì)算、內(nèi)置診斷、一系列圖表和數(shù)據(jù)庫(kù)搜索引擎向?qū)?。利用機(jī)載成像系統(tǒng)可以通過(guò)基準(zhǔn)點(diǎn)匹配進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。

Paragon™測(cè)試軟件為創(chuàng)建晶圓圖提供靈活性，允許快速地設(shè)置測(cè)試模式；可以輕松編輯每種測(cè)試模式的虛擬圖像。您可以從以下方法中進(jìn)行選擇：

1、使用即在智能自動(dòng)晶圓繪圖軟件來(lái)掃描晶圓

2、以工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)格式導(dǎo)入晶圓圖

3、使用鼠標(biāo)簡(jiǎn)單的點(diǎn)擊向?qū)?lái)為晶圓上仍和位置的任何測(cè)試點(diǎn)編寫程序

多功能測(cè)試模組

業(yè)內(nèi)多功能測(cè)試模組擴(kuò)展了4800焊接強(qiáng)度測(cè)試儀的通用性。

操作員可以通過(guò)測(cè)試模塊窗口來(lái)輕松識(shí)別哪個(gè)傳感器處于活動(dòng)狀態(tài)，而“暫存位置”會(huì)保護(hù)測(cè)試模塊里面的傳感器。

4000和4000Plus焊接強(qiáng)度測(cè)試儀上使用的現(xiàn)有測(cè)試模組也與4800系統(tǒng)相兼容。

亮點(diǎn)：

1、人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，抓取手柄輕便，可安全無(wú)虞的移動(dòng)

2、可快速輕松地與單功能測(cè)試模組交換

3、獲得專利的空氣軸承技術(shù)用于剪切力測(cè)試

4、“暫存位置”保護(hù)測(cè)試模塊里面的傳感器

5、傳感器應(yīng)用窗口

強(qiáng)大的光學(xué)系統(tǒng)

4800系統(tǒng)提供了一系列的光學(xué)解決方案：

圖像采集系統(tǒng)

為失效模式分析提供高分辨率圖像。內(nèi)置于系統(tǒng)中，靠近測(cè)試頭的位置可最大限度的提高產(chǎn)量，尤其適用于自動(dòng)化測(cè)試。

校準(zhǔn)攝像頭

內(nèi)置配有微距變焦鏡頭和通州照明的高分辨率攝像頭。當(dāng)與圖像采集系統(tǒng)配合使用時(shí)，自動(dòng)化模板和程序的設(shè)置和使用得到顯著增強(qiáng)。

集成的圖像采集和對(duì)位攝像頭

三目攝像頭

借助合適的顯微鏡，可以從遠(yuǎn)到近調(diào)整視場(chǎng)，非常適合微觀定位。與側(cè)面對(duì)位攝像頭結(jié)合使用時(shí)，兩個(gè)視圖（前部和側(cè)面）有助于實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測(cè)試頭校準(zhǔn)。此外，可以使用高功率光學(xué)器件來(lái)觀察20微米以下的超微特征點(diǎn)，以輔助操作員進(jìn)行剪切力測(cè)試校準(zhǔn)。

集成校準(zhǔn)

側(cè)面對(duì)位攝像頭非常適合測(cè)試微特征。其支持輔助視點(diǎn)功能，可提供準(zhǔn)確、可重復(fù)的測(cè)試。側(cè)面對(duì)位攝像頭與測(cè)試模塊支架相連，可以提供超穩(wěn)定、無(wú)震動(dòng)且持續(xù)聚焦測(cè)試位置的圖像。

孔徑儀成像系統(tǒng)

孔徑儀可提供高倍放大圖像，非常適合工具的準(zhǔn)確校準(zhǔn)。它也可以實(shí)現(xiàn)離線失效模式分析、測(cè)試分級(jí)和實(shí)時(shí)測(cè)試記錄。

成功測(cè)試翹曲晶圓和薄晶圓

智能邊緣升降托盤擁有設(shè)計(jì)，邊緣升降撐腳能確保彎曲晶圓不會(huì)從托盤上滑落。漸進(jìn)的真空壓力在晶圓上方形成較真空。

產(chǎn)品特點(diǎn)包括：

預(yù)先調(diào)準(zhǔn)準(zhǔn)確性

通過(guò)在邊緣處完全支撐晶圓來(lái)消除橫向移動(dòng)。

這確保了每個(gè)應(yīng)用的晶圓放置。

內(nèi)置的十字線攝像頭對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)

該對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)可確保操作員100%確信負(fù)載工具相對(duì)于卡盤的位置。這種校準(zhǔn)大大提高了準(zhǔn)確性。

集成校準(zhǔn)

通過(guò)內(nèi)置的驗(yàn)證和測(cè)試模組校準(zhǔn)確保結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

智能和直觀的晶圓托盤控制器

多功能可編程控制器確保晶圓的安全和可靠的傳輸。將其無(wú)縫集成到Paragon軟件中，可以提供有關(guān)真空夾緊壓力的反饋，從而防止損壞晶圓。

更重要的是，操作者可以輕松看到真空和氣壓的連續(xù)反饋信息，因此可以采取措施防止在壓縮空氣供應(yīng)中斷的情況下?lián)p壞晶圓。

失效模式和分級(jí)

自動(dòng)圖像采集系統(tǒng)定位正確的位置以優(yōu)化圖像質(zhì)量。擴(kuò)展的景深選項(xiàng)也會(huì)生成自動(dòng)聚焦的圖像和失效的3D地圖。

典型失效模式

全自動(dòng)晶圓測(cè)試技術(shù)

集成晶圓處理

Nordson DAGE4800與晶圓處理系統(tǒng)集成，可確保操作可靠性和可重復(fù)性。

集成晶圓處理系統(tǒng)將Nordson DAGE4800轉(zhuǎn)化為一個(gè)完全自動(dòng)化的系統(tǒng)，其利用下一代Paragon™焊接強(qiáng)度測(cè)試軟件確?？煽啃院涂芍貜?fù)的操作。

高度直觀和可配置的界面為各種樣品配置提供了快速、簡(jiǎn)便的自動(dòng)化測(cè)試程序開(kāi)發(fā)和執(zhí)行。

一步一步的向?qū)б龑?dǎo)用戶完成設(shè)置過(guò)程，滿足各種選擇需求。Paragon還提供了同事顯示記錄來(lái)自多臺(tái)攝像頭視圖的功能。

CHAD晶圓處理器

Nordson DAGE 4800 Integra是自動(dòng)晶圓焊接強(qiáng)度測(cè)試的完整解決方案。整個(gè)系統(tǒng)由工廠配置并由一臺(tái)PC控制。

幾乎無(wú)需操作員介入測(cè)試

該系統(tǒng)完全由Paragon™軟件進(jìn)行控制，經(jīng)過(guò)編程后，無(wú)需操作員介入即可自動(dòng)執(zhí)行測(cè)試的所有部分。

SECS/GEM集成

系統(tǒng)直接連接到網(wǎng)絡(luò)以允許SECS/GEM操作。當(dāng)與FOUP加載系統(tǒng)結(jié)合使用時(shí)，測(cè)試、分析和結(jié)果可以完全自動(dòng)化。

無(wú)塵室兼容

可選風(fēng)扇過(guò)濾裝置和前門可加入離子去除裝置，以進(jìn)行無(wú)塵室操作。

自動(dòng)晶圓矯正器

晶圓矯正器確保在測(cè)試之前可將翹曲的晶圓自動(dòng)夾緊到真空吸盤上。

風(fēng)扇過(guò)濾器

4800 Integra可安裝風(fēng)扇過(guò)濾器和封閉門。這樣可以保持系統(tǒng)內(nèi)部的正壓力，并將碎屑排出測(cè)試區(qū)域。

互鎖選項(xiàng)

可以安裝光幕或互鎖門，以保護(hù)操作者免受測(cè)試區(qū)域的傷害。系統(tǒng)將在光幕或互鎖門被損壞或被打開(kāi)時(shí)暫停當(dāng)前的測(cè)試，并在障礙物消除后重新啟動(dòng)。

CCD攝像頭監(jiān)控

可選的CCD攝像頭可以安裝在晶圓處理機(jī)上，也可以安裝在4800 Integra內(nèi)部。允許對(duì)測(cè)試過(guò)程進(jìn)行監(jiān)視和記錄。

風(fēng)扇過(guò)濾裝置和封閉門

光幕或互鎖門

自動(dòng)晶圓矯正器