蘇州工業(yè)園區(qū)浩高電子科技有限公司 
場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡
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鎢燈絲掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品介紹
型號(hào)：Quanta 400 FEG
廠家：美國(guó)FEI
主要用途 1.可在高真空、低真空（130Pa)、環(huán)境真空(4000Pa)下觀察導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品，對(duì)材料的表面和橫截面的微觀形貌、成分進(jìn)行分析，廣泛應(yīng)用于金屬材料、高分子材料、半導(dǎo)體材料、納米材料等領(lǐng)域； 2.配備的Apollo40 SDD能譜無需液氮制冷，可進(jìn)行快速的點(diǎn)、線、面分布分析，獲得能譜的mapping圖譜； 3.其樣品室直徑達(dá)284 mm，對(duì)于直徑達(dá)四英寸硅片可以直接進(jìn)行測(cè)試，無需對(duì)樣品進(jìn)行分割處理； 4.附件MonoCL3+陰極熒光譜儀不僅可以測(cè)量材料微區(qū)在電子束激發(fā)下的發(fā)光光譜，而且可以進(jìn)行成像 顯示，從而可以對(duì)樣品的禁帶寬度、雜質(zhì)缺陷等進(jìn)行表征，獲取更為豐富的信息； 5.可以測(cè)量材料的電子束感生電流（EBIC）,從而獲得材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷等信息，與陰極熒光測(cè)量互為補(bǔ)充。 主要配置 1. MonoCL3+陰極熒光譜儀，波長(zhǎng)范圍160-930nm 2.電子束感生電流（EBIC） 3.STEM探測(cè)器 4.Apollo 40 SDD能譜儀 5.液氮冷臺(tái)，溫度范圍為-185℃- +200℃ 6.液氦冷臺(tái)，溫度范圍為6K-300K 性能指標(biāo) 1.肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 2.加速電壓：200V-30 kV 3.放大倍數(shù)：12-2,000,000 4.分辨率 高真空 - 0.8nm at 30kV (STEM) - 1.2nm at 30kV (SE) - 2.5nm at 30kV (BSE) - 3.0nm at 1kV (SE) 低真空 - 1.5nm at 30kV (SE) - 2.5nm at 30kV (BSE) - 3.0nm at 3kV (SE) 環(huán)境真空 - 1.5nm at 30kV (SE) 樣品室 284mm，5軸馬達(dá)臺(tái) EDS分辨率 優(yōu)于136 eV，可分析包括B5以上的所有元素
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