蘇州工業(yè)園區(qū)浩高電子科技有限公司 
冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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產(chǎn)品介紹
型號：S4800
廠家：日本Hitachi
主要用途
該設(shè)備主要用于各種樣品的高分辨表面形貌成像觀察，點(diǎn)分辨率可達(dá)1 nm。同時該設(shè)備由于發(fā)射束流低并配備了減速裝置，因此可以較大程度上減少樣品在電子束轟擊下的充電效應(yīng)，適合于一些不導(dǎo)電樣品和在電子束輻照下異損壞樣品（有機(jī)、高分子、生物樣品等）的表面高分辨成像。 主要配置 電子束減速裝置 性能指標(biāo) 1、二次電子圖像分辨率 ≤1.0nm保證(加速電壓15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保證(加速電壓1kV WD = 1.5mm，普通模式)
≤1.4nm 保證(照射電壓1kV，WD = 1.5mm，使用減速裝置)
放大倍率：20~800,000×
2、樣品臺 S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
最大樣品尺寸（直徑） 100mm
樣品臺控制 五軸馬達(dá)驅(qū)動
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