蘇州工業(yè)園區(qū)浩高電子科技有限公司 
冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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透射電子顯微鏡
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場發(fā)射透射電子顯微鏡
產品介紹
設備名稱： 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
型號： S4800
廠家：日本Hitachi
主要用途：
該設備主要用于各種樣品的高分辨表面形貌成像觀察，點分辨率可達1 nm。同時該設備由于發(fā)射束流低并配備了減速裝置，因此可以較大程度上減少樣品在電子束轟擊下的充電效應，適合于一些不導電樣品和在電子束輻照下異損壞樣品（有機、高分子、生物樣品等）的表面高分辨成像。
主要配置：
電子束減速裝置
性能指標：
1、二次電子圖像分辨率
≤1.0nm保證(加速電壓15kV WD = 4mm)
≤2.0nm 保證(加速電壓1kV WD = 1.5mm，普通模式)
≤1.4nm 保證(照射電壓1kV，WD = 1.5mm，使用減速裝置)
放大倍率：20~800,000×
2、樣品臺
S-4800型
X 0-50 mm
Y 0-50 mm
Z 1.5-30 mm
T -5°~ + 70°
R 360°
樣品尺寸（直徑） 100mm
樣品臺控制 五軸馬達驅動
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