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一：超聲波掃描顯微鏡，通常稱做SAM或者SAT是檢測離層、裂痕和其他缺陷必不可少的工具. 它不僅能檢測出缺陷,更能清楚的指出缺陷的位置.

二：超聲掃描成像顯微成像技術(shù)應用：

1.微電子:塑封IC,陶瓷電容,模片固定,芯片級封裝,倒裝,

印刷電路板（PCB）等

2.微機械系統(tǒng):粘結(jié)芯片,制造工藝評估,包裝

3.軍事/航天/汽車電子:高可靠性資格篩選,產(chǎn)品升級篩選

4.材料:陶瓷,剝離,金屬,塑料,化合物

5.其他:微陣列芯片,生物芯片,微射流技術(shù),傳感器等

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